Anforderungen an Reinräume in der Halbleiterindustrie

Die Anforderungen an Reinräume in der Halbleiterindustrie sind wie folgt:
1. Hohe Anforderungen an die Sauberkeit
Bei der Herstellung von Halbleitern bedarf es einer sehr strengen sauberen Umgebung.mit einer Breite von mehr als 20 mm,.1 Mikron-Partikel pro Kubikfuß) in die Klasse 100 (gleich oder kleiner als 100 0,5 Mikron-Partikel pro Kubikfuß).
2. Genaue Temperatur- und Luftfeuchtigkeitskontrolle
Halbleitermaterialien sind sehr empfindlich gegenüber Temperatur und Luftfeuchtigkeit.mit einem relativen Luftfeuchtigkeitsbereich von 40 bis 60% und Schwankungen von ± 1 °C und ± 5% RH.
3Zuverlässige und stabile Stromversorgung und -verteilung
Der Reinraum benötigt ein eigenes Stromversorgungs- und Verteilungssystem, um eine stabile und redundante Stromversorgung zu gewährleisten und den normalen und ununterbrochenen Betrieb der Prozessgeräte zu gewährleisten.Gleichzeitig, müssen Schutz- und Filterfunktionen vorhanden sein, um Störungen der Leistung zu verhindern.
4. Ein angemessener Luftstrom ohne Staub
Reinräume müssen mit staubfreien Luftfilter- und Luftzirkulationssystemen ausgestattet sein, um eine angemessene Luftverteilung und keine toten Ecken zu gewährleisten, so dass saubere Luft vollständig in jede Ecke gelangen kann.Die Luftströmungsgeschwindigkeit und der Luftdruck sollten ebenfalls streng kontrolliert werden, um zu verhindern, daß die Außenluft zurückfließt oder störend wirkt..
5Sie haben die vollständige seismische Planung.
Angesichts der Anforderungen an die Stabilität von Halbleiterprozessen müssen Reinräume in der Regel Stoßsicherheitsmaßnahmen ergreifen, um die Auswirkungen externer Vibrationen auf das Verfahren zu verringern.Das Fundament sollte ausreichend stabil sein und mit Puffervorrichtungen ausgestattet sein..
6Die Materialauswahl ist staub- und verschmutzungsfrei
Das Oberflächenmaterial des Reinraums muss staub- und verschmutzungsfrei sein und keine Partikel produzieren.Am Eingang muss ein Luftschleier angebracht werden, um Staub zu verhindern.